スポンサーリンク

神港精機 (株) | 論文

• アーク放電形高真空イオンプレーティングの膜厚分布 (I)
• イオンプレーティングの応用
• 高真空における蒸発粒子のイオン化
• アブストラクト
• ア-ク放電形高真空イオンプレ-ティングによる反応生成膜の作製(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

スポンサーリンク