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産業技術総合研 ナノカーボン研究セ | 論文

• 硬質薄膜の作製技術とトライボロジー
• 615 異なる炭化水素により作製した DLC 膜のトライボロジー特性
• 308 水素含有量の異なる DLC 膜の摩擦摩耗特性

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