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株式会社日立製作所機械研究所 | 論文
- チタンゲッタ材の高純度化処理による10-11Pa極高真空の発生 (極高真空シンポジュ-ムプロシ-ディングス)
- 超高真空装置技術 (フォーラム「超高真空装置に関する技術の現状と将来」)
- 酸化によるステンレス鋼の放出ガス低減 (超高真空のためのガス放出の制御技術(技術ノ-ト))
- 超高真空技術について
- 超高真空技術の現状-2-
- 超高真空技術の現状-1-
- 半導体
- 超高真空 (「超」の付く技術)
- 分子線によるエピタキシャル成長 : 真空を材料加工に利用する
- 使用済み家電品の一次分解自動化システム
- 廃工業製品の前処理自動化技術
- Ti-Mo合金フィラメントからの希ガス放出の低減と10-11Pa極高真空の発生
- ステンレス鋼の放出ガス速度に及ぼすベーキング温度の影響
- サマリー・アブストラクト
- アブストラクト
- レーザ誘起蛍光法による蒸発分子流の挙動計測
- 加速器真空排気系の圧力分布の計算
- 有限要素法による真空排気シミュレータ
- ステンレス鋼の種類と放出ガス速度
- モリブデンの放出ガス特性