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株式会社徳田製作所 | 論文

• 高温真空炉に於ける断熱材の効果
• プログラム可変型全自動プラズマCVDシステムの開発(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• 熱電気冷却トラップとサブリメーション・ポンプ

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