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東北大・電気通信研究所 | 論文

• 二元同時スパッタ法で作製した(CoFeB)-(SiO_2)高電気抵抗膜のGHz透磁率特性
• 1 GHz付近における(CoFeB)-(SiO_2)系高電気抵抗膜の高周波透磁率特性
• (CoFeB)-(SiO_2)系高電気抵抗膜の高周波透磁率特性
• 走査型非線形誘電率顕微鏡を用いた定量計測

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