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日立製作所, デバイス開発センター | 論文

• 有磁場マイクロ波エッチング装置内壁に入射するイオンのin situ分析
• Alエッチング装置内壁面の入射イオンのin situ分析
• Alエッチング装置内壁面の堆積膜のin situ分析
• 有磁場マイクロ波プラズマエッチング容器内壁面への入射イオンの分析
• ドライエッチャ処理室内の堆積物の in situ 分析

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