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新光産業株式会社 | 論文

• チタン材料の真空特性と応用展開
• ZnSe 単結晶ウエハの鏡面研磨
• チタン製真空容器の真空特性
• 真空材料としてのチタンの特性と超高真空機器の開発
• 高強度低合金チタンにおけるガス放出速度のベーキング温度・ベーキング時間依存性
• 高強度低合金チタンの昇温脱離特性
• チタン材料のガス放出特性

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