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技術研究組合BEANS研究所 Macro BEANS センター | 論文

• マイクロカンチレバーアレイを用いたフレキシブルデバイス用接点構造の特性評価
• 大気圧プラズマ化学輸送法を用いて作製したシリコン膜の特性評価

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