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富士通(株)基礎プロセス開発 | 論文

• 12a-DF-2 フォノン-共鳴モード-局在モード結合系の不純物赤外吸収
• 27p-H-4 Si結晶中のC-O複合体欠陥の熱的形成解離挙動 III

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