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大阪大 大学院工学研究科 | 論文
- 走査型近接場光学顕微鏡の開発 : 走査システムの改良と光硬化性樹脂によるプローブ製作
- 光ファイバ先端を点光源とした位相シフト型Point Diffraction Interferometer (PS-PD1)の開発 : 光源の位相シフトを利用した凹面鏡の形状計測
- 光散乱法を用いたシリコンウエハ面の洗浄によるナノ構造評価
- レーザ光散乱法によるSiウエハ付着超微粒子計測
- レーザー光散乱法によるSiウエハ表面上のナノパーティクルの計測
- 光ファイバからの点光源回折球面波を計測の絶対基準とした位相シフト光干渉計の開発
- 光散乱法によるSiウエハ表面欠陥の大面積計測
- 光散乱法による研磨・洗浄後のSiウエハ表面の評価
- 三次元境界要素法を用いたシリコンウエハ上の微粒子からの光散乱特性の解析
- 光散乱法によるSiウエハ表面のナノ微細欠陥とナノ構造の計測と評価
- 3次元境界要素法を用いた走査型近接場光学顕微鏡用の微粒子プローブ周りの電磁場伝搬解析
- 走査型近接場光学顕微鏡の高感度・高分解能プローブ開発 : 集光レーザ-スポット照射による微粒子プローブの創製
- シリコンウエハ表面上の微粒子・微小欠陥による光散乱 : 散乱光強度およびレンズによる像形成の計算
- 26aWS-10 固体表面からの二光子光電子放出における正孔散乱とファノ干渉の効果(26aWS 表面界面電子物性,領域9(表面・界面,結晶成長))
- バルク超電導体のMDDSへの応用の可能性
- 326 金属間化合物TiAlの疲労き裂進展に及ぼす環境効果と昇温水素分析(OS1-5 環境・高温および熱疲労)(OS1 高強度材・表面改質材の疲労と破壊)
- 多軸制御加工のための効率的荒加工用工具経路生成の研究(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- 221 超精密5軸制御加工用セッティング誤差補正法の開発(OS-6 超精密加工)
- 108 NURBS補間に対応した5軸制御加工用ポストプロセッサに関する基礎研究(OS-3 最新工作機械・多軸複合加工)
- 103 多軸制御加工のための効率的荒加工用工具径路生成の研究(OS-3 最新工作機械・多軸複合加工)