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名古屋大学大学院機械理工学専攻 | 論文

• 繊維配向したTiN硬質薄膜における残留応力と強度評価
• 223 六法晶AlNスパッタ薄膜の膜性状と強度特性(微小材料,薄膜,局所応力,応力評価と材料強度,オーガナイスドセッション3)
• 六方晶AlN薄膜の膜性状と強度特性評価
• 侵入深さ一定法による表面強加工材の残留応力分布の予測

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