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兵県大 | 論文
- 極端紫外線露光技術(半導体エレクトロニクス)
- 極紫外リソグラフィー
- 極端紫外線露光技術
- 極端紫外線露光装置の開発
- F22-(6) 極端紫外線による微細加工技術
- 超精密軟X線光学系の開発と応用 -EUVリソグラフィ-
- EUVリソグラフィ技術の現状
- 0.1μm以降をねらいとした極端紫外線露光技術の展望(EUV基盤技術とその応用の現状)
- ニュースバルにて放射光の産業応用を加速(精密工学の最前線)
- 0.1μm世代以降のSR縮小リソグラフィ
- EUVリソグラフィ技術 (小特集:X線光学技術とその応用)
- 2721 2自由度振り子の非線形相互干渉を考慮した渦励振の数値シミュレーション(J20-5 流体関連の騒音と振動(5) 流体連成振動の解析法,ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- G705 振動する弾性翼周り流れの流体・構造連成解析(GS-7 物体周りの流れ・連成振動,一般セッション)
- 27aRA-7 電流ならびに磁場による磁気渦共鳴の制御(磁化ダイナミクス,領域3,磁性,磁気共鳴)
- 308 バイパス型空気ばねの動特性解析(OS-2・GS-10 流体振動)
- 414 空気ダンパの減衰特性と復元特性の理論的研究 : 空気粘性と動圧の2種類の減衰を考慮した解析(OS-4 ダンパ)
- 407 オリフィス付きローリングシール型空気ばねの復元特性と減衰特性
- 302 補助空気室付きローリングシール型空気ばねの減衰特性
- 1025 微小平行平板間の電気二重層・電気浸透流の分子動力学解析(GS-5 流体機械)
- 1028 磁性体の往復運動を用いたマイクロポンプの開発に関する実験的研究(GS-5 マイクロ流れ)