スポンサーリンク
兵庫県立大学:(独)科学技術振興機構 | 論文
- 圧電薄膜要素の多段直列接続によるセンサ出力電圧の増倍
- PZT薄膜を用いた振動型加速度センサに関する基礎研究
- PZT誘電ボロメータ型温度センサ
- PZT圧電薄膜を用いたMEMSジャイロに関する研究
- 振動型MEMS加速度センサの高Q値振動梁形状の設計と試作
- 人の安全・健康を守る貼付け型心電モニタリングシステムの開発
- スパッタPZT薄膜を用いた振動型加速度センサ
- MEMSガスジャイロとその周辺回路に関する検討
- 振動型3軸MEMSジャイロの試作と初期評価
- 半導体光増幅素子を用いたリングレーザジャイロのウインキング観測
- 超小型脈拍モニタリングシステムを指向した3次元集積脈波センサの試作
- P(VDF/TrFE)薄膜を用いた柔軟な心拍・呼吸センサ
- 石英構造体の機械的特性評価
- MEMSリングレーザジャイロのためのミラー作製
- ハニカムSOIウエハを用いた加速度センサ
- ウエハ貼り付け技術を用いたMEMS-ガイガーカウンタの試作
- 垂直ミラーを用いた周回レーザ発振
- 環状受光部をもつ小型脈波センサによる脈波検出
- C-4-5 シリコン(111)MEMSミラーを用いたリングレーザの発振(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)