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入江工研株式会社 | 論文

• 酸化クロム膜のハロゲンプラズマに対する耐腐食テスト
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(2) : エッチング特性
• 永久磁石を用いた大口径 ECR プラズマ源(1) : プラズマ特性
• 多孔式電子ビーム励起プラズマソースの開発とダイヤモンド様炭素膜の作製
• コンパクト高密度ラジカル源
• MBE/CBE装置の試作とその特性
• PEとPPとの浮選による分離

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