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住友重機械工業 技術開発セ | 論文

• アーク放電蒸着法による酸化亜鉛薄膜の物性制御
• 酸化亜鉛透明導電膜の開発
• 反応性プラズマ蒸着法による酸化亜鉛透明導電膜 (特集:コーティング・テクノロジー(2)塗工から乾燥・硬化まで)
• 高安定プラズマイオンプレーティング装置による各種成膜技術への応用
• イオンプレーティングによる ITO 成膜技術
• 新しいプラズマコ-タの開発 (半導体製造装置小特集)
• プラズマを利用したコイル連続コーティング技術

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