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京都大学大学院 工学研究科電子工学専攻 | 論文

• ミストデポジション法による酸化マグネシウム(MgO)薄膜作製 : 大気圧下、低温成長への挑戦(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
• ミストデポジション法による酸化マグネシウム(MgO)薄膜作製 : 大気圧下、低温成長への挑戦
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• 超音波噴霧ミストCVD法によるリチウム系酸化物の成膜

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