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(独)産業技術総合研究所:連携研究体グリーン・ナノエレクトロニクスセンター | 論文

• インプラント法によるカーボンナノチューブプラグの作製とスパッタアニール法による多層グラフェン配線の接合(配線・実装技術と関連材料技術)

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