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(株)日立製作所 機械研究所 | 論文
- 研磨テープの浮上効果を利用した磁気ディスクの加工
- 塗布型磁気ディスクの加工
- 超微粒子による微小凹凸形状形成技術の研究
- 圧電マイクロアクチュエータを備えた浮上量調整スライダの開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
- LSI検査用マイクロプローブの開発
- Siマイクロマシニング技術を応用したウェハレベル・バーンインシステム
- LSI検査用マイクロプローブの開発
- Siマイクロマシニング技術を応用したLSI検査プローブ (MES2000 第10回マイクロエレクトロニクスシンポジウム)
- SPring-8蓄積リング用分布型イオンポンプのH_2, COおよびH_2+CO混合ガスに対する排気特性
- 光照射後の材料からのガス放出挙動
- 遠心圧縮機のディフューザ内流れに及ぼす案内羽根高さの影響
- 遠心圧縮機用ディフューザの内部流れのレーザ流速計による計測
- 基板上に配列されたパッケージ列の圧力損失
- 基板上に配置したフィン付きパッケージの放熱性能の簡易予測法
- 基板上に配列されたフィン付きパッケージ列の熱伝達
- シェルチューブ形熱交換器における胴側単相流の熱伝達 : 第4報,高温熱交換器の限界設計条件に関する検討
- シェルチューブ形熱交換器における胴側単相流の熱伝達 : 第3報,熱伝達率の周方向および軸方向分布に関する実験的検討
- シェルチューブ形熱交換器における胴側単相流の熱伝達 : 第2報,入口ノズル径の影響に関する数値的・実験的検討
- ポンプ場設計支援用ナレッジ融合型CAEシステムの開発
- サーマルスリーブ付ノズルの高周波加熱応力改善法の開発(昭和63年度春季全国大会論文発表講演討論記録)