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(株)日立製作所 材料研究所 電子材料研究部 | 論文

• ナノインプリント技術による表面改質
• ナノプリント技術による微細構造の形成とバイオMEMSへの応用(メカニカルリソグラフィ)
• ナノインプリント技術による微細構造の形成
• ナノプリント技術による高アスペクト比構造の形成と応用

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