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(株)クリスタル光学 | 論文

• 真空紫外光を用いた銅の砥粒フリー研磨法の開発(機械要素,潤滑,工作,生産管理)
• 気相反応を用いるフッ素系有機薄膜の生成と性質
• 銅の超平滑化技術に関する研究ナノバブル水と真空紫外光を用いた仕上げ研磨

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