中村 壮伸 | 東北大学　原子分子材料科学高等研究機構

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概要

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• 東北大学　原子分子材料科学高等研究機構の論文著者

東北大学　原子分子材料科学高等研究機構 | 論文

• 携帯型燃料電池のための燃料制御用マイクロバルブ
• 使い捨て化と細径化を目指した形状記憶合金を用いた能動屈曲電子内視鏡の開発
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ
• LTCC基板によるMEMSウエハレベルパッケージング技術
• 高温環境で用いるための雑音振動を利用した確率型MEMSセンサ

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