Ichimura Shingo | National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Research Institute of Instrumentation Frontier, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan

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• National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Research Institute of Instrumentation Frontier, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japanの論文著者

National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Research Institute of Instrumentation Frontier, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan | 論文

• Low-Temperature Oxidation of Silicon using UV-Light-Excited Ozone

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