鹿園 直毅 | 生産技術研究所

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概要

• 同名の論文著者
• 生産技術研究所の論文著者

生産技術研究所 | 論文

• レーザパターニングによるCIS薄膜太陽電池の直列集積化
• 電子ビーム描画装置用ウエーハ高さ検出装置の開発
• 投影じま自動焦点法による厚さ及び形状測定(光学的非接触方式による高精密測定技術)
• 行単位情報表示形空間変調器によるホログラフィ
• 自動焦点用センサによる印刷回路パタ-ンの膜厚測定 (最新光センサ応用実例集--目視検査工程自動化の実際)

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