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薮谷 誠 | (株) 不二越
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(株) 不二越 | 論文
超精密工作機械用位置決め装置の分解能に関する比較研究
超精密位置決め装置案内面の能動制御
超精密自由曲面加工機ASP20 (工作機械特集号)
無限剛性空気静圧軸受で構成されたスピンドルの試作
ツイストローラ摩擦駆動装置を用いた超精密位置決めシステムの開発
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