行村 建 | (独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門:岩手大学ソフトパス工学総合研究センター

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概要

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• (独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門:岩手大学ソフトパス工学総合研究センターの論文著者

関連著者

• 小木曽 久人

  (独)産業技術総合研究所

• 中野 禅

  (独)産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門

• 行村 建

  (独)産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門:岩手大学ソフトパス工学総合研究センター

著作論文

• ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源(プラズマ応用技術の新展開)

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