中野 雄大 | 東京エレクトロン(株)

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概要

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東京エレクトロン(株) | 論文

• B-1-100 大口径均一プラズマ生成用表面波励振形式ラジアルラインスロットアンテナの電磁界分布
• ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構
• CFxラジカル絶対密度のIRLAS空間分布測定
• ラジアルラインスロットアンテナを用いた大口径均一プラズマの生成
• ラジアルラインスロットアンテナを用いたプラズマエッチング装置

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