Baek Sungkweon | Samsung Electronics Co., Ltd., San #24, Yongin-City, Gyeonggi-Do 449-711, Korea

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Samsung Electronics Co., Ltd., San #24, Yongin-City, Gyeonggi-Do 449-711, Korea | 論文

• Ultrashallow Arsenic n+/p Junction Formed by AsH3 Plasma Doping

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