Goto Masashi | Department of Electrical Engineering, Kanagawa Institute of Technology

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概要

• 同名の論文著者
• Department of Electrical Engineering, Kanagawa Institute of Technologyの論文著者

Department of Electrical Engineering, Kanagawa Institute of Technology | 論文

• Effects of Fluorocarbon Films on CF Radical in CF_4/H_2 Plasma

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