Ohue Michio | Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12

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Hitachi Research Laboratory, Hitachi Ltd., 4026 Kuji-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 319-12 | 論文

• Effects of Excited Plasma Species on Silicon Oxide Films Formed by Microwave Plasma CVD

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