Adesida Ilesanmi | Micro and Nanotechnology Laboratory, University of Illinois, Urbana, Illinois 61801, U.S.A.

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概要

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Micro and Nanotechnology Laboratory, University of Illinois, Urbana, Illinois 61801, U.S.A. | 論文

• High-Rate Dry Etching of ZnO in BCl3/CH4/H2 Plasmas

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