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Manabe Yasuo | Fujitsu Limited, 1015 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki 211, Japan
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Fujitsu Limited, 1015 Kamikodanaka, Nakahara-ku, Kawasaki 211, Japan | 論文
Simple Method of Correcting Optical Proximity Effect for 0.35 µm Logic LSI Circuits
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