Kajiyama Kenji | Ion Engineering Research Institute Co., 2-8-1 Tsuda-Yamate, Hirakata, Osaka 573-0128, Japan

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Ion Engineering Research Institute Co., 2-8-1 Tsuda-Yamate, Hirakata, Osaka 573-0128, Japan | 論文

• Lateral Solid-Phase Recrystallization from the Crystal Seed Selectively Formed by Excimer Laser Annealing in Ge-Ion-Implanted Amorphous Silicon Films

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