Watanabe Morimichi | Materials Research Laboratory, NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho, Mizuho, Nagoya 467-8530, Japan

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Materials Research Laboratory, NGK INSULATORS, LTD., 2-56 Suda-cho, Mizuho, Nagoya 467-8530, Japan | 論文

• Identification of Desorption Products from the Thermal Reaction of AlN with XeF2 Vapor Using Molecular Beam Mass Spectrometry and a Time-of-Flight Technique

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