Miya Hironobu | Hitachi Kokusai Electric Inc., Semiconductor Equipment System Laboratory, 2-1 Yasuuchi, Yatsuo-machi, Nei-gun, Toyama, Japan

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Hitachi Kokusai Electric Inc., Semiconductor Equipment System Laboratory, 2-1 Yasuuchi, Yatsuo-machi, Nei-gun, Toyama, Japan | 論文

• Analysis of Chemical Structures of Ultrathin Oxynitride Films by X-Ray Photoelectron Spectroscopy and Secondary Ion Mass Spectrometry

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