Aoki Toshihiko | Silicon Technology Center, Sumitomo Sitix Corporation

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概要

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• Silicon Technology Center, Sumitomo Sitix Corporationの論文著者

Silicon Technology Center, Sumitomo Sitix Corporation | 論文

• Influence of Fe Contamination in Czochralski-Grown Silicon Single Crystals on LSI-Yield Related Crystal Quality Characteristics

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