Obata Motoki | Citizen Fine Tech Co., Ltd., 4107-5 Miyota, Kitasaku, Nagano 389-0295, Japan

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Citizen Fine Tech Co., Ltd., 4107-5 Miyota, Kitasaku, Nagano 389-0295, Japan | 論文

• Characterization of Al-based insulating films fabricated by physical vapor deposition

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