Sugie Ryuichi | Toray Research Center Inc., 3-3-7 Sonoyama, Otsu, Shiga 520-8567, Japan

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Toray Research Center Inc., 3-3-7 Sonoyama, Otsu, Shiga 520-8567, Japan | 論文

• Stress Characterization of Si by a Scanning Near-Field Optical Raman Microscope with Spatial Resolution and with Penetration Depth at the Nanometer Level, using Resonant Raman Scattering

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