Murata Masayoshi | Nagasaki Research & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Fukahori, Nagasaki 851-03, Japan

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Nagasaki Research & Development Center, Mitsubishi Heavy Industries Ltd., Fukahori, Nagasaki 851-03, Japan | 論文

• Production of Inductively Coupled RF Plasma Using a Ladder-Shaped Antenna

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