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Shiratani Masaharu | Department of Electoronics, Kyushu University, Hakozaki, Fukuoka 812-8581, Japan
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Department of Electoronics, Kyushu University, Hakozaki, Fukuoka 812-8581, Japan | 論文
Highly Stable a-Si:H Films Deposited by Using Multi-Hollow Plasma Chemical Vapor Deposition
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