Lee Don-Hee | LG Corporate Institute of Technology, 16 Woomyeon-Dong, Seocho-Gu, Seoul 137-140, Korea

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LG Corporate Institute of Technology, 16 Woomyeon-Dong, Seocho-Gu, Seoul 137-140, Korea | 論文

• Internal Stress and Microstructure of WNx Bilayer Films for X-Ray Masks

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