JOUBERT Olivier | Laboratoire de Physique et Chimie des Procedes Plasma, Universite Joseph Fourier (Grenoble 1), Unite CNRS

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概要

• 同名の論文著者
• Laboratoire de Physique et Chimie des Procedes Plasma, Universite Joseph Fourier (Grenoble 1), Unite CNRSの論文著者

Laboratoire de Physique et Chimie des Procedes Plasma, Universite Joseph Fourier (Grenoble 1), Unite CNRS | 論文

• S_2Br_2, S_2Cl_2, S_2F_2: A New Line of Halogen-Containing Gases for Low-Pressure Plasma Etching Processes

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