Iwasa Shigeyuki | Functional Materials Research Laboratories, NEC Corporation, 1-1, Miyazaki 4-chome, Miyamae-ku, Kawasaki 216-8555, Japan

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概要

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Functional Materials Research Laboratories, NEC Corporation, 1-1, Miyazaki 4-chome, Miyamae-ku, Kawasaki 216-8555, Japan | 論文

• ArF Chemically Amplified Positive Resist Based on Alicyclic Lactone Polymer

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