Shigenaka Y. | Fac. Integr. Arts & Sci., Univ. of Hiroshima

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概要

• 同名の論文著者
• Fac. Integr. Arts & Sci., Univ. of Hiroshimaの論文著者

論文 | ランダム

• MEMS/NEMSと機械的物性評価
• 静電チャックを用いた薄膜引張り試験装置
• 多結晶シリコンヨーレートセンサ
• 1998 R&D 100 Awardsを受賞して
• 薄膜の引張強度評価 (特集 マイクロセンサ用薄膜の機械的物性評価と解析)

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