TAKENAKA Takao | SEH Isobe R&D Center, Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.

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概要

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SEH Isobe R&D Center, Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | 論文

• 短波長励起室温フォトルミネッセンス法及び表面電荷分析法によるシリコンエピタキシャル層ライフタイム品質の評価〔英文〕

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