Selberherr Siegfried | the Institute for Microelectronics, Technical Univercity of Vienna

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概要

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• the Institute for Microelectronics, Technical Univercity of Viennaの論文著者

the Institute for Microelectronics, Technical Univercity of Vienna | 論文

• Accurate Simulation of Pattern Transfer Processes Using Minkowski Operations (Special Issue on 1993 VLSI Process and Device Modeling Workshop (VPAD93))

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