Itakura Akiko | National Institute for Materials Science (NIMS), 1-2-1 Sengen, Tsukuba 305-0047, Japan

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National Institute for Materials Science (NIMS), 1-2-1 Sengen, Tsukuba 305-0047, Japan | 論文

• Relationship between Ozone Oxidation and Stress Evolution on an H-Terminated Si Surface

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