Otogawa Naotaka | Japan Science and Technology Corporation (JST), AIST Tsukuba West, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan

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Japan Science and Technology Corporation (JST), AIST Tsukuba West, Tsukuba, Ibaraki 305-8569, Japan | 論文

• Formation of $\beta$-FeSi2 Microstructures by Reactive Ion Etching Using SF6 Gas

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