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Odake Yoshinori | Semiconductor Research Center, Matsushita Elec. Ind. Co.,Ltd.
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Semiconductor Research Center, Matsushita Elec. Ind. Co.,Ltd.の論文著者
Semiconductor Research Center, Matsushita Elec. Ind. Co.,Ltd. | 論文
LATID (Large-Angle-Tilt Implanted Drain) FETs with Buried n^-Profile for Deep-Submicron ULSIs (Special Issue on Quarter Micron Si Device and Process Technologies)
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