NAKAMURA Yoshitaka | Device Center, Elpida Memory, Inc.

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概要

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• Device Center, Elpida Memory, Inc.の論文著者

Device Center, Elpida Memory, Inc. | 論文

• Ruthenium Films Prepared by Liquid Source Metalorganic Chemical Vapor Deposition Using Ru(dpm)_3 Dissolved with Tetrahydrofuran Solvent : Surfaces, Interfaoes, and Films

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