D'agostino Riccardo | CNR, Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi, c-o Dipartimento di Chimica, Universita de Bari

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概要

• 同名の論文著者
• CNR, Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi, c-o Dipartimento di Chimica, Universita de Bariの論文著者

CNR, Centro di Studio per la Chimica dei Plasmi, c-o Dipartimento di Chimica, Universita de Bari | 論文

• Dry Etching of SiO_2 Thin Films with Perfluoropropenoxide-O_2 and Perfiuoropropene-O_2 Plasmas

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